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    多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析

    发布时间： 2022-04-26　　点击次数： 1243次

    多晶硅薄膜的膜厚和折射率分析

    测量示例

    可以测量从半导体等精密加工产品到眼镜和汽车零件的各种样品的膜厚。

     

    F3-CS桌面式膜厚测量系统

    F3-CS 是测量小样品的测量系统。与测量台集成的测量系统使其易于携带。
    只需将样品的测量面朝下放在载物台上即可进行测量，大约1秒即可测量膜厚和折射率。

    主要特点

    • 紧凑的尺寸

    • 轻松连接，仅 USB 连接

    • 光学常数分析（折射率/消光系数）

    主要用途

    光学镀膜硬涂层、防滴膜等
    平板有机膜等

    产品阵容

    模型F3-CS-UVF3-CSF3-CS-近红外
    测量波长范围190 – 1100nm380 – 1050nm950 – 1700nm

    膜厚测量范围

    		3nm – 40μm15nm – 70μm100nm – 250μm
    准确性*± 0.2% 薄膜厚度± 0.4% 薄膜厚度
    1纳米2纳米3纳米

    *取决于样品和测量条件



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