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光谱仪原理
发布时间: 2023-08-21 点击次数: 412次光谱仪将光分成彩虹(每个波长的光)并测量每个波长的光强度。
将光照射到薄膜等上,通过对反射光进行色散来测定薄膜的成分。
特征
・响应10个电子和弱光的读出信号。
・采用电子冷却FFT-CCD,实现紧凑、低噪音。
・由于具有超高灵敏度,因此可以进行在线测量等高速测量。
・备有颜色测量软件和膜厚分析软件。
・相当于使用分光装置的硬件、软件、机构的整体系统。
・接口有USB型、E-ther型、SCSI型有。
・配备LED发光用外部输出端子。模型
DIT-150VIS (E)
DIT-150UV
DIT-150NIR
测量波长范围 (nm)
光电探测器元件
通道数
受光面元件尺寸 元件
冷却温度 (°C ) 读出
噪声 暗
分辨率
AD 电流 分辨率 (nm) 波长精度 (nm) 探测器曝光时间入射方式 接口 电源 形状
300-800
背照FFT-CCD 冷却型
1024
24.576mm x 1.392mm
-5
10
电子 75电子/扫描(-5°20msec)
14bit (16bit)
Czemy-tuner Mount
4
20msec~10sec
25
0.5
1.5
1.5
5msec~10sec
光学光源导纤 (1.5m)
USB 或 100base
AC100-240V ±10% 50-60Hz
140W 240H 250D 350 电缆250-500
quot quot
quot
quot quot quot quot quot quot quot quot 0.25 0.8
± 0.2 quot quot quot quot quot
500-1000
quot quot
quot
quot quot quot quot quot quot quot quot 0.5 1.5 ± 0.3 quot quot
quot quot quot
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