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ECR线束离子源（ELBS-150）技术解析及应用领域展望

发布时间： 2023-09-12　　点击次数： 343次

摘要：
ECR线束离子源（ELBS-150）是一种用于反应离子束铣削设备的先进离子源。本文将介绍其特点、设备规格，并重点探讨其在MEMS结构高速铣削、磁头铣削和高频电路微调调整等应用领域的潜力。
介绍：
ECR线束离子源（ELBS-150）通过采用dute的磁路设计，能够产生均匀且延展的离子束，这对于铣削设备的高效运行十分关键。其采用了新开发的大型同轴引入端子（7/16型）进行高功率微波驱动，可保证稳定的离子束输出。此外，由于采用了无金属污染的电介质衬里以及新开发的长寿命束电极，ELBS-150具备出色的可靠性和持久性。
设备规格：
光束尺寸：宽度150mm，提供广泛的覆盖范围。
光束能量：可调节范围从100至2,000eV，满足不同应用需求。
光束电流密度：最大可达10mA/cm2，为高效铣削提供充足的能量。
连接同轴连接器标准：采用DIN 7/16标准，方便连接和集成。
适用微波频率：2.45GHz，与常用工业微波设备兼容。
允许微波功率：最大500W，提供充足的能量供应。
冷却方式：水冷，确保设备在长时间运行中保持合适的温度。
应用实例：
MEMS结构高速铣削：ELBS-150可生成均匀且高能量的离子束，对于高速铣削微型机械系统（MEMS）结构非常适用。它能够精确去除材料，实现微细加工要求。
磁头铣削：磁头制造是一项非常复杂的工艺，ELBS-150的离子束可以对磁头进行精细铣削，确保磁头的几何形状和性能要求达到最佳状态。
高频电路微调调整：ELBS-150的高能量离子束可用于微调高频电路，如微波集成电路（MMIC）和射频功率放大器。通过微削和微调，可以实现电路的精准调整，提升性能和可靠性。
结论：
ECR线束离子源（ELBS-150）以其均匀长离子束、高功率微波驱动和可靠性等优势，广泛应用于MEMS结构高速铣削、磁头铣削和高频电路微调调整等领域。随着技术的不断发展，ELBS-150将在更多领域展现其价值，推动工业加工技术的进步和创新。

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