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小型ECR原子/自由基束源（ERS-35）技术解析及应用前景

发布时间： 2023-09-12　　点击次数： 315次

摘要：
小型ECR原子/自由基束源（ERS-35）是一种适用于MBE等超高真空设备的先进束源。本文将介绍其特点和设备规格，并重点探讨其在MBE设备用氮/氧自由基源和表面清洗用原子氢源等应用领域的潜力。
介绍：
ERS-35采用了电子回旋共振放电技术，可在超高真空环境下提供稳定的原子束或自由基束，广泛应用于分子束外延（MBE）和其他超高真空设备中。其具备以下特点：
wanquan金属密封：ERS-35与超高真空设备兼容，采用wanquan金属密封设计，确保在真空环境中稳定工作，避免任何气体泄漏和污染。
易于操作的同轴电缆电源：ERS-35配备了易于操作的同轴电缆电源，简化了功率供应的连接和控制，提高了设备的可操作性和稳定性。
无金属污染的介电衬里：为了确保高纯度的束流输出，ERS-35采用无金属污染的介电衬里，有效减少了杂质的产生和污染的风险。
带偏压电极的介电引出栅：ERS-35的介电引出栅设计了带偏压电极，擅长产生自由基束。这种设计允许束源输出具有高度定向性和可调控性的自由基束。
设备规格：
连接真空端口标准：ICF70，与常见的超高真空设备接口标准兼容。
同轴连接器标准：N型，便于与其他设备进行连接和集成。
适用微波频率：2.45GHz，与常用工业微波设备兼容。
允许微波功率：最大100W，提供充足的能量供应。
冷却方式：水冷，确保设备在长时间运行中保持合适的温度。
应用实例：
MBE设备用氮/氧自由基源：ERS-35能够产生稳定而高纯度的氮或氧自由基束，可用于分子束外延（MBE）中的材料沉积和气相外延生长，实现精确的薄膜和纳米结构的控制。
表面清洗用原子氢源：ERS-35的原子束输出适用于表面清洗和表面修饰应用。氢原子束可以高效地清除表面的杂质和氧化物，并恢复材料的纯净度和特性。
结论：
小型ECR原子/自由基束源（ERS-35）通过其wanquan金属密封、易操作的同轴电缆电源和带偏压电极的介电引出栅等特点，广泛应用于MBE设备用氮/氧自由基源和表面清洗用原子氢源等领域。随着技术的进一步发展，ERS-35将为超高真空设备的研究和应用提供更多创新的可能性。

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