日本applics高温高浓度臭氧水分解设备
日本applics高温高浓度臭氧水分解设备
高温高浓度臭氧水分解设备
本装置は高温高濃度のオゾン水を 1ppm 以下の濃度に 分解します。冷却受水槽を用いることで 70℃のオゾン水 を 35℃まで冷却し、紫外線の後段に活性炭槽を設けるこ とで、1ppm 以下まで分解する構造となっています。
这是一种具有冷却功能的臭氧水分解装置,其内部具有经过验证的臭氧水分解装置。它主要用于分解半导体或液晶制造过程中使用的纯臭氧水。
*尺寸和内部安装零件可能会因规格而异。
*照片是设备的示例。
产品名称 | 高温高浓度臭氧水分解设备 |
---|---|
模型 | OZK-JSHT002 |
能力 | *取决于使用条件和环境。
|
原则 | 紫外线照射法 |
电源供应 | 单相AC200V±10% |
评论 | 具有散热功能 具有各种安全功能和警报 |
製品名 高温高濃度オゾン水分解装置 型 式 OZK-JSHT002 原 理 紫外線照射方式及び活性炭通水式 対 象 純オゾン水又は 1%以下の弗酸オゾン水 (石英ガラスを溶解する物質や紫外線の透過を妨げる物質を含まないこと) 試料水 条 件 1)分解液温度範囲:70℃以下(周囲温度:20±5℃、50±10%RH以下) 2) 試料水圧力 :0.3 MPa 以下(衝撃圧不可) 3)使用流量範囲:8L/min 以下 接続口 詳細仕様書にてご確認ください。(通水入口、通水出口) 装 置 能 力 1)オゾン水分解能力:IN 150mg/L ⇒ OUT 1mg/L ※詳細条件あり 2)冷却タンク能力 :IN 70℃ ⇒ OUT 32.5±3℃ ※詳細条件あり 3)活性炭タンク能力:通水圧力 0.3Mpa 使用推奨 0.15Mpa 以下 装置能力の詳細条件は別資料【納入仕様書】にてご確認ください。 安 全 対 策 1)警報:納入仕様書【付表 1 “警報時の機器別動作表”参照 2)装置内機器:非常停止ボタン、排気圧センサー、オゾンガスモニタ 漏水センサー、液面センサー、メンテナンスパネル開閉センサー搭載 電 源 単相 AC200V±10%、10A・2KVA ※接地必須 接液部材 質 PFA、PTFE、ETFE、硬質 PVC、石英ガラス 主 な 材 質 1) 本体フレーム・パネル : SUS304 2) 内部支持構造部品 : SUS304、A5052、硬質PVC等 3) 排気系配管部品 : 硬質PVC 4) 制御系エア配管部品 : ポリエチレン 装 置 外 径 幅 1350 × 奥行 1600 × 高さ 1350 (突起物含む) 設置方 法 分解塔:横置 / 制御ユニット:取付穴(4箇所)を利用して壁面等へ取付 付 属 品 1)純水供給口変換アダプタ 6)処理水受入口2重配管 2)アラーム信号線 7)プラグ類 3)アンカー用ブラケット 8)敷板 4)アイボルト 9)インシュロック 5)排気口拘束帯 10)シリコンチューブ