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日本hrd热范围TM3

日本hrd热范围TM3

更新日期：2024-05-12

访问量：757

厂商性质：经销商

生产地址：

简要描述：
日本hrd热范围TM3
用于测量薄膜和微小区域的热发射率
用于测量薄膜和微小区域的热发射率
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产品介绍

日本hrd热范围TM3

日本hrd热范围TM3

 

特征

  • 热物理特性显微镜是一种测量热效率的设备，热效率是热物理特性值之一。
  • 它是一种可以通过点，线和表面来测量样品的热性能的设备。
  • 还可以测量微米级的热物理性质分布，这在常规的热物理性质测量装置中被认为是困难的。
  • 它是一台可对热物理性质进行非接触式和高分辨率测量的设备。
  • 检测光斑直径为3μm，可在微小区域内进行高分辨率的热物理性质测量（点/线/面测量）。
  • 由于可以通过改变深度范围进行测量，因此可以测量从薄膜/多层膜到块状材料。
  • 您也可以在板上测量样品。
  • 激光非接触式测量。
  • 可以检测薄膜下方的裂缝，空隙和剥离。

​

热物理显微镜的测量原理（概述）

在样品上形成金属薄膜，并用加热激光器定期加热。

  1. 由于金属的反射率具有随表面温度而变化的性质（热电阻法），因此通过捕捉与加热激光同轴照射的检测激光的反射强度的变化，来测量表面的相对温度变化。 。
  2. 热量从金属薄膜传播到样品，导致表面温度响应的相位延迟。该相位延迟取决于样品的热性质。通过测量加热光和检测光之间的相位延迟来获得热效率。
热物理显微镜的测量原理（概述）

    主要规格

    名称/产品名称热物理特征显微镜/热显微镜
    测量方式热物理性质分布测量（1D，2D，1点）
    测量项目热效率，（热扩散率），（热导率）
    检测光斑直径约3μm
    1点测量标准时间10秒
    待测薄膜厚度从几百纳米到几十微米
    重复精度耐热玻璃和硅的热效率小于±10％
    样本1.样品架30 mm x 30 mm厚度5 mm 
    2.板状样品30 mm x 30 mm以下且3 mm以下
    • 需要对样品表面进行镜面抛光。
    • 样品表面需要进行Mo溅射。
    工作温度极限24°C±1°C（根据设备中内置的温度传感器）
    载物台移动距离・ X轴方向20mm
    ・ Y轴方向20mm
    ・ Z轴方向10mm
    激光加热半导体激光波长：808nm
    激光检测半导体激光波长：658nm
    电源供应交流100V 1.5kVA
    标准配件样品架，参考样品
    选项光学平台，空调，空调房，溅射设备

     

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